LIGA steht für Lithographische Galvano-Abformung, ein Verfahren, das zur additiven Herstellung von 3D-Mikrostrukturen aus Nickel eingesetzt wird. Es ermöglicht die Herstellung komplexer geometrischer Strukturen, die mit Standardproduktionsmitteln nicht zu realisieren sind. Durch die Kombination aus niedrigen Kosten, schneller Umsetzung, makelloser Oberflächenqualität, Flexibilität bei der Seriengröße und mikrometrischer Genauigkeit steht es den materialabtragenden Verfahren in nichts nach und ist für viele Branchenkenner die Zukunft der Miniaturisierung.
Das UV-LIGA-Verfahren besteht aus drei Schritten: der UV-Lithographie, der galvanischen Abscheidung und der anschließenden Umformung. Alles beginnt mit der Erstellung einer Photomaske nach der Zeichnung der Komponente. Dann wird das Substrat, Wafer genannt, vorbereitet, indem eine Schicht aus einem lichtempfindlichen Polymer aufgebracht wird, dessen Dicke von der des herzustellenden Teils abhängt, wodurch beeindruckende Formverhältnisse möglich sind (z. B. eine Struktur von 100 µm bei einer Dicke von 300 µm). Nach einer UV-Bestrahlung und einem Lösungsmittelbad erhält man eine Form, in der dann das Nickel abgeschieden werden kann (Galvanisierung).
Die Präzision dieses Verfahrens liegt vor allem in der Erstellung der Photomaske. Normalerweise garantieren Photomasken eine Auflösung von maximal 3 µm. Hier trumpft MultiEtch SA auf, denn man hat das LIGA-Verfahren so modifiziert, dass man nun der Produktion Filter mit äusserst geringer Dicke und Mikrodurchgangslöchern von garantiert 4 µm anbieten kann.
Das für die Industrie gedachte Hightech-Projekt ist eine Meisterleistung auf dem Gebiet der Präzision, die nach drei Jahren Entwicklungsarbeit an der LIGA-Technologie erreicht wurde. Es ergeben sich vielfältige Anwendungen: Filtration und Analyse von Mikropartikeln, Diffusoren, Röntgenbildgebung und viele andere mehr.
Obwohl der Schwerpunkt von MultiEtch SA im chemischen Schneiden und Ätzen liegt, kann das Unternehmen dank dieser Technologie seine Dienste für eine breite Palette von Uhrwerksteilen für die Uhrenindustrie anbieten, aber auch für Mikroteile zur LED-Beleuchtung, optische Komponenten, Wellenleiter oder Testspitzen für die Elektronik.
Lucie Layat