La LIGA, de l’allemand Lithographische Galvano Abformung (Structuration galvanique par lithographie), est un procédé utilisé pour la fabrication additive de microstructures 3D en nickel. Elle permet la réalisation de géométries complexes, irréalisables par les moyens de production standards. Combinant un coût peu élevé, une rapidité de mise en œuvre, une qualité d’état de surface irréprochable, une flexibilité quant à la taille des séries ainsi qu’un niveau de précision micrométrique, elle n’a rien à envier aux procédés par enlèvement de matière et est pour beaucoup l’avenir de la miniaturisation.
Le procédé UV-LIGA s’articule en trois étapes : la lithographie UV, la galvanisation par électrodéposition puis le formage. Tout commence par la création d’un photomasque d’après le plan du composant. On prépare ensuite le substrat, nommé Wafer, en déposant une couche de polymère photosensible dont l’épaisseur est liée à celle de la pièce à fabriquer, permettant des rapports de forme impressionnants (structure de 100 µm pour une épaisseur de 300 µm par exemple). Après une exposition aux UV et un bain solvant, on obtient un moule dans lequel on peut alors déposer le nickel (galvanisation).
Ce qui définit la précision de ce procédé réside essentiellement dans la création du photomasque. En effet, les photomasques permettent habituellement de garantir une résolution de 3µm maximum. Là où MultiEtch SA frappe fort, c’est dans la modification de ce procédé LIGA qui leur permet maintenant de proposer à la fabrication des filtres d’épaisseur très fine avec des micro-trous traversants de 4µm garantis.
Ce projet de haute technologie, destiné à l’industrie, est une prouesse de précision obtenue après trois années de développement de la technologie LIGA. Les applications sont multiples : filtration et analyse de microparticules, diffuseurs, imagerie à rayon X et tant d’autres.
Bien que l’essentiel de l’activité de MultiEtch SA réside dans la découpe et la gravure chimique, cette technologie leur permet de proposer leurs services pour une large gamme de pièces de mouvement pour l’industrie horlogère mais également pour des micropièces destinées à l’éclairage LED, des composants optiques, guides d’ondes ou encore des pointes de test pour l’électronique.
Lucie Layat